紫外线表面活化及清洁 254nm和185nm波长的光子能量可以直接切断有机物分子中的共价健，使有机物分子活化。与此同时，185nm波长紫外光的光能量能将空气中的氧气（O2）分解成臭氧（O3）；而254nm波长的紫外光的光能量能将O3分解成O2和活性氧（O），这个光敏氧气反应过程是连续进行的。在这两种短波紫外光的照射下，臭氧会不断的生成和分解，活性氧原子就会不断的生成，而且越来越多，由于活性氧原子（O)有强烈的氧化作用，与活化了的有机物（即碳氢化合物）分子发生氧化反应，生成挥发性气体（如CO2，CO,H2O,NO等）逸出物体表面，从而彻底清除黏附在物体表面上的有机污染物。